半导体精密加工难?松下APX300系列干式蚀刻机一站式搞定

　　APX300 & APX300-S

　　做半导体、LED、功率器件

　　MEMS加工的朋友

　　是不是总被这些难题困住：

　　想拉高产能却无法批量稳定加工?

　　LED亮度提不上来、

　　化合物半导体精细刻蚀精度差?

　　碰到非挥发性材料、

　　多种薄膜分层蚀刻束手无策?

　　今天小编就带大家拆解

　　松下王牌干式蚀刻解决方案

　　APX300&APX300-S两大机型

　　助您覆盖多赛道精密刻蚀需求!

　　Part.01

　　两款主力机型 按需精准匹配

　　01 APX300：批量高产首选，多晶圆同步加工

　　这是多片式批量蚀刻设备，主打高产能

　　• 依托LED薄膜高速加工逻辑，整机产能拉满

　　• 可把基板刻出梯形、锥形等复杂异形结构

　　• 支持多尺寸托盘批量承载：Φ4英寸晶圆一次放7片、Φ6英寸一次放3片，大批量同步处理，生产效率翻倍

　　多个晶圆批量处理(托盘规格)

　　02 APX300-S：单晶圆精细精工，工艺兼容性拉满

　　搭载成熟稳定的E620制程腔体，高水准单晶圆精细化加工

　　• 内置海量工艺库，搭配3种专业等离子源：高精度MS-ICP、高速BM-ICP、适配非挥发材料FS-ICP

　　• 晶圆尺寸全覆盖：4/6/8英寸单片加工，两种气源供给模式自由切换

　　• 可加装灰化室、清洗室，刻蚀后同步防止二次腐蚀处理，成品良率更高

　　Part.02

　　全能蚀刻材质表

　　可对应行业主流薄膜

　　对于以下基材、膜层，松下蚀刻机均能稳定刻蚀加工：

　　• 硅系：深硅Deep-Si、多晶硅

　　• 绝缘/覆膜：氧化硅、氮化硅、聚酰亚胺保护膜

　　• 化合物半导体：GaAs,GaN,InP,AlGaInN等光通信/射频核心材料、碳化硅SiC

　　• 金属层：铝、钛、钨、铂、铱等各类电极金属

　　• 特殊基板：蓝宝石、锂酸锂压电材料、PZT磁性基底

　　从硅功率片到三五族化合物，从金属电极到绝缘保护层，一套设备搞定多层异质膜精准刻蚀。

　　Part.03

　　多赛道落地实例

　　实打实解决生产痛点

　　化合物半导体的应用实例

　　从GaAs和GaN的前工序到后工序，提供精确的干式蚀刻工艺：

　　GaAs Ridge, DBR, MESA, GaAs VIA, GaAs Scribe;

　　实现高精度干式蚀刻工艺：

　　AlGaN, GaN Recess, MESA, GaN 元件分离.

　　拥有各种材料和工序的绝缘膜工程元件库：

　　InP MESA, 沟槽, InP VIA, Passivation Etch. (Contact, Via, Pad).

　　利用Beamed-ICP源生产超高密度等离子体 实现SiC VIA工程的高速加工与高GaN选择比并存：SiC VIA.

　　LED&光通讯半导体

　　针对GaN蓝光/紫外LED：完成PSS图形蓝宝石基底刻蚀、GaN台面、隔离层、ITO金属电极加工、低损伤工艺助力LED亮度升级;2/4/6英寸多晶圆批量生产，大幅压缩单片加工成本。

　　光通信GaAs/InP芯片：精准刻蚀VIA通孔、器件台面、保障高速光电器件性能稳定。

　　功率半导体(SiC/硅基功率器件)

　　适配新能源车、快充功率芯片全流程刻蚀：离子注入掩膜沟槽、栅极回刻、AlGaN凹槽、多晶硅栅极精细成型、纳米级刻蚀平整度、保障功率器件耐压、散热核心性能。

　　高频通信&射频器件

　　SAW声表面波滤波器、射频IDT铝电极精密刻蚀、可精细管控CD关键尺寸;批量模式兼顾产能与均匀度、适配5G/射频前端量产需求。

　　MEMS、传感器、压电元件

　　压电PZT、非挥发性磁性材料专属FS-ICP工艺、刻蚀速率稳定、选择比优异;加速度、压力、声学传感器微结构一次成型，微小纹路精度可控。

　　■ 压电MEMS PZT厚膜蚀刻(FS-ICP等离子源应用)

　　■ 非挥发性材料蚀刻(FS-ICP等离子源应用)

　　Part.04

　　为什么选松下干式蚀刻?

　　• 产能灵活双路线：批量款冲产量、单晶圆款做高精研发/小批量高端订单

　　• 工艺门槛低：预制成熟工艺库，拿到手快速投产，不用长时间试错调参

　　• 材料无短板：罕见兼容压电、磁性、非挥发难加工材料，一台顶多台专用设备

　　• 良率防护到位：配套原位灰化、清洗工序，减少晶圆转运污染，降低报废率。

　　• 适配未来制程：8英寸兼容、三五族宽禁带、射频、第三代半导体全赛道工艺持续迭代

　　第三代半导体、射频、LED、功率器件行业竞争越来越激烈，精度、产能、良率三大指标缺一不可。松下APX300系列干式蚀刻机，用成熟等离子蚀刻技术，帮工厂跳出加工瓶颈，稳定提升产品竞争力。